不同种类的真空泵压强范围也不一样,今天真空泵厂家为您介绍一下。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
真空泵种类工作压强范围(Pa)起动压强(Pa)
活塞式真空泵1×105~1.3×1021×105
旋片真空泵1×105—6.7×10-11×105
水环真空泵1×105—2.7×1031×105
罗茨真空泵1.3×103—1.31.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-51.3
水蒸气喷射泵1×105—1.3×10-11×105
油扩散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10
油蒸气喷射泵1.3×10—1.3×10-2<1.3×105
分子筛吸附泵1×105—1.3×10-11×105
溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1
钛升华泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2
锆铝吸气剂泵1.3×10—1.3×10-111.3×10
低温泵1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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